据日本《产经新闻》6月30日报道，日本政府将从7月4日开始限制对韩国出口部分半导体、OLED材料出口。韩联社称，韩国相关业界高度紧张，认为稍有不慎就会出现严重状况。日本经济产业省已经于7月1日上午，公布了相关决定。日本政府修改了对韩国的出口管理运用政策，决定从7月4日开始实行限制向韩国出口电视、智能手机中OLED显示器部件使用的“氟聚酰亚胺”、半导体制造过程中必须使用的“光刻胶”和“高纯度氟化氢”等3个品种，如果该措施得以实施，可能会对韩国经济产生负面影响。

电子级氟化氢属国际高端垄断产品，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性影响极大。但电子级氢氟酸关键的提纯技术长时间垄断在美国、德国、日本等发达国家的企业集团手中。

氟化氢，英文名为hydrofluoric acid，有刺激性气味，剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。

表 1 氟化氢物理性质



高纯度氟化氢，又名电子级氢氟酸，是无机酸的一种，具有弱酸性，常温下为无色透明液体，易挥发，有强烈的刺激性气味，腐蚀性较强，可以与金属盐的氧化物和氢氧化物发生化学反应生成氟化盐，从而造成对金属盐的腐蚀作用。其中最典型的反应是与硅酸盐或二氧化硅反应生成气态的四氟化硅，这也是其能够在电子制造行业得以应用的主要原因。

电子级氢氟酸在工业中主要是用作清洗剂和蚀刻剂，刻蚀是指通过物理或者化学作用将光刻胶上的图形进一步转移到基板上，从而形成电子元器件的过程。另外，它还可以用作分析试剂及制备高纯含氟化学品。电子级氟氢酸主要用于半导体、太阳能和液晶显示器等领域，是这些行业中关键的辅助材料之一。其中最大应用市场是半导体产业，约占电子级氢氟酸总消耗量47.3%；其次是太阳能产能，比重22.1%；液晶显示器产业则占18.3%。



图 1 电子级氢氟酸应用市场

电子级氢氟酸的提纯方法主要有精馏法、蒸馏法、灭沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等，以上提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

目前，因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四级：

表 2 电子级氟化氢产品质量标准等级



工业上，萤石法是制备氟化氢最常用的方法。电子级氢氟酸中的杂质主要是磷、砷及重金属。产品的纯度、洁净度将会直接影响集成电路的电性能、合格率和可靠性。产品的纯度受原料萤石（CaF2）和硫酸的影响较大，尤其是萤石的质量。南非、中国、墨西哥和蒙古的萤石储量列世界前4位，可开采量占到全球的45%左右，作为主要萤石消费国的美国和西欧等萤石资源已经枯竭。



图 2 全球萤石储量分布（亿吨）

电子级氢氟酸属国际高端垄断产品，其关键技术长时间垄断在美国、德国、日本等发达国家的企业集团手中。

表 3 生产电子级氟氢酸的国际企业



在氟化氢行业遭到环境污染等问题的限制情况下，电子级氢氟酸逆势而上，受到下游行业需求的刺激，电子级氢氟酸产能增长迅猛。统计数据显示，2016年我国电子级氢氟酸产能达18.5万吨，与2015年比年均增14.91%;2017年，中国半导体行业快速增长，其对电子级氢氟酸的需求有所增长，这也推动了电子级氢氟酸行业的快速发展。2018年电子级氢氟酸产能达到24.0万吨。



图 3 我国电子级氟氢酸产能（万吨）

国内化工企业积极布局电子级氢氟酸市场，加大投入研发力度，不断扩建新的生产线。2018年12月，索尔维蓝天拟扩建电子级氢氟酸产能，同时新增一套年产15000吨/年电子级氢氟酸生产线，使电子级氢氟酸总产能达到30000吨/年;2018年6月，鹰鹏集团投资新公司建设二期年产6000吨电子级氢氟酸生产线;2018年1月，天赐材料发布关于投资建设年产5万吨氟化氢、年产2.5万吨电子级氢氟酸改扩建项目的公告。

表 4 我国主要电子级氟氢酸生产企业及产能



赛智时代研究员认为，我国电子级氢氟酸产业上游资源丰富；中游技术进步较快，产能充足，产品质量进步显著；下游半导体行业、太阳能光伏行业庞大将进一步刺激氟化氢产业的发展。此次日韩贸易禁令，则是我国电子级氢氟酸产品打入国际市场的一个良机，消息显示韩国三星、LG、SK海力士等企业均在与中国企业进行接触并对电子级氢氟酸产品进行性能测试，这将有助于我国氟化氢产品更快的打破外国企业的垄断，同时也将促进我国半导体、集成电路等行业的发展。同时我国也应当警惕类似韩国电子级氢氟酸这种完全依赖进口的产品或者技术，首先应当全面排查，按照依赖程度以及重要程度，抓紧国内相关产业的开发布局，增强企业以及研发人员的忧患意识，未雨绸缪，尽快清理掉隐藏在我国各行业内的“阿克琉斯之踵”。



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